我們在選(xuǎn)擇壓(yā)力傳感器的時候我們要考慮(lǜ)他的(de)綜合(hé)精度(dù)，而(ér)哪(nǎ)些因(yīn)素會(huì)造成壓力傳感(gǎn)器精度的(de)誤差呢？其(qí)實造成傳(chuán)感器誤差的因(yīn)素有很多，下面(miàn)我們注意說四(sì)個無法(fǎ)避(bì)免的(de)誤差，這(zhè)是傳感(gǎn)器的初始誤差。
1.線性誤差(chà)：這是一(yī)個對(duì)壓(yā)力傳感(gǎn)器(qì)初始誤差影響較小(xiǎo)的因(yīn)素(sù)，該誤差(chà)的産生原(yuán)因在于矽片的(de)物理(lǐ)非線性，但(dàn)對于(yú)帶放大器(qì)的傳(chuán)感器，還應包括放大(dà)器的非線(xiàn)性。線性(xìng)誤(wù)差曲(qǔ)線可(kě)以(yǐ)是凹形曲線，也可以是(shì)凸形(xíng)曲線稱重(zhòng)傳感器。
2.偏(piān)移量誤差：由于(yú)壓力(lì)傳感(gǎn)器在(zài)整個(gè)壓力範圍(wéi)内垂直(zhí)偏移保(bǎo)持恒(héng)定，因此變(biàn)換器擴散(sàn)和(hé)激(jī)光調節修(xiū)正的(de)變化将(jiāng)産生偏(piān)移量誤差。
3.靈敏度誤差：産(chǎn)生誤差(chà)大小與(yǔ)壓力成正比。如果設(shè)備的(de)靈敏(mǐn)度高(gāo)于(yú)典(diǎn)型值(zhí)，靈敏度誤差将(jiāng)是壓力的遞增(zēng)函數。如果(guǒ)靈敏(mǐn)度低(dī)于(yú)典型值(zhí)，那麽靈敏度誤(wù)差将是壓(yā)力的遞減(jiǎn)函數。該誤(wù)差的産(chǎn)生原因(yīn)在于擴散過程(chéng)的變化。
4.滞(zhì)後誤(wù)差：在大多(duō)數情(qíng)形中，壓力傳感(gǎn)器的(de)滞後(hòu)誤差*可(kě)以(yǐ)忽略(luè)不計，因爲矽片(piàn)具有很(hěn)高的機(jī)械剛度(dù)。一般隻(zhī)需在壓(yā)力變化(huà)很大的(de)情形中(zhōng)考慮滞(zhì)後(hòu)誤差。
壓力傳感(gǎn)器的(de)這個(gè)四個(gè)誤差(chà)是無法(fǎ)避免的，我們(men)隻能選擇(zé)高精(jīng)度的(de)生産設備，利用(yòng)技術來降低這些誤(wù)差，還可(kě)以(yǐ)在出(chū)廠的(de)時(shí)候(hòu)進行(háng)一點(diǎn)的(de)誤差校(xiào)準，盡大的(de)可能(néng)來降(jiàng)低(dī)誤(wù)差以(yǐ)滿足(zú)客戶的需(xū)要。
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