壓(yā)阻式壓力變送器的(de)原理

壓阻式壓力變送器 

 單晶矽壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽(qì)的液位、密度、壓力，然後将其(qí)轉變(biàn)成4~20mA，Hart電流信号輸出，也(yě)可與(yǔ)HART-375或BST，Modem相互通信，通過他們進行參數設定、過程控(kòng)制。與傳統電接點壓力表的區别在于它使用的是納米單晶矽作爲傳感器材料。 傳感器(qì)模塊采用全焊接技術，内部(bù)擁有一個整體化的(de)過載膜片，一個壓力傳感器(qì)和一個溫度傳感器。溫度傳(chuán)感器作爲溫度補償(cháng)的參考值。壓力傳感器的正壓(yā)側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負(fù)壓(yā)側與傳(chuán)感器膜盒的低壓腔(qiāng)相連，壓力(lì)通過隔離(lí)膜片和填充液，傳(chuán)遞給傳感器内的矽芯(xīn)片，使壓力(lì)傳感器的(de)芯片的(de)阻值發生變化，從(cóng)而導(dǎo)緻檢測系統輸出電壓變化。該(gāi)輸出電壓(yā)與壓力變化成正比，再由适配(pèi)單元和放大器轉化(huà)成一标準(zhǔn)化信号輸出。   

單晶矽壓阻式壓(yā)力傳感器工作原理(lǐ) 

 壓阻式壓力傳感(gǎn)器利用單晶矽的壓阻(zǔ)效應而構(gòu)成。采用單(dān)晶(jīng)矽片爲彈性元件(jiàn)，在單晶矽(xī)膜片上利用集成電路的工藝，在單晶矽(xī)的特定(dìng)方向擴散一組等值電阻。并将電阻接成橋路，單晶矽(xī)片置于傳感器腔内。 當壓力發生變化時，單晶矽産生(shēng)應變，使直接擴散在上面的(de)應變電阻産生與(yǔ)被測壓力成比例(lì)的變(biàn)化，再由橋式電路獲得相應的(de)電壓輸出信号(hào)。