1.按用途(tú)
壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液位傳感器、能耗傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器(qì)、熱敏傳感器。
2.按(àn)原理
振動傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感(gǎn)器等。
3.按輸出信号
模拟(nǐ)傳感器:将被測量的非電學量轉換成模拟電信号。
數字(zì)傳感器:将被測量的非(fēi)電學量轉換成數字輸出信号(hào)(包(bāo)括直接和間接轉(zhuǎn)換)。
膺數字傳感器:将被測(cè)量的信号量轉(zhuǎn)換成頻率(lǜ)信号或短周期信号的輸出(包括直(zhí)接或間接轉換)。
開關傳感器:當一個(gè)被測量的信号達到某個特定的阈值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信号。
4.按其制造工藝
集成傳感器是用标準的生産矽基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術制造的。通常還将用于初步處理被(bèi)測信号的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積(jī)在介質襯底(基闆)上的,相應敏感材(cái)料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可将部分電路制造在(zài)此基闆(pǎn)上。厚膜傳感器(qì)是利用相應(yīng)材料的漿料,塗覆(fù)在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的(de),然後進行熱處理(lǐ),使厚膜成形。陶瓷傳感器采用标準的陶(táo)瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生産。完成适當的預備性(xìng)操作之後,已成形的元件在高溫中(zhōng)進行燒結。厚膜和陶(táo)瓷傳感器這二種工(gōng)藝之間有許多共同特(tè)性,在某(mǒu)些方面,可以認爲厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型(xíng)。每種工(gōng)藝技術都有自己的優點和(hé)不足。由于研究、開發和生産所需的資本投入較低,以(yǐ)及傳感器參(cān)數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
5.按測量目
物理型傳感器是利用被測量物質的某些物理性質發生明顯變化的(de)特性制成的。
化學型(xíng)傳感器(qì)是利用能把化學物質的成分、濃(nóng)度等化學量轉化(huà)成電學量的敏感(gǎn)元件(jiàn)制成的。
生(shēng)物型傳感器是利用(yòng)各種生物或生物物質的特性做成的,用以檢測與識别生物體内化學成分的傳感器。
6.按(àn)其(qí)構成
基本型傳感器:是一種基本的單個變換裝置(zhì)。
組合(hé)型傳感器:是(shì)由不同單個變換(huàn)裝置組合(hé)而構成(chéng)的傳感器。
應用型傳感器:是基本型(xíng)傳感器(qì)或組合型傳感器與其他(tā)機(jī)構組合而構成的傳感器。
7.按作用形(xíng)式
按作用形式可(kě)分爲主動型和(hé)被動型(xíng)傳感器。
主動(dòng)型傳感器(qì)又有作用型和反作用(yòng)型,此種傳感器對被測對象能發出一定探測(cè)信号,能檢測探測信号在被測對象中所産生的變化,或者由探(tàn)測信号在被測對象(xiàng)中産生某種效應而(ér)形成信号。檢測探測信号變(biàn)化方(fāng)式的稱爲作用型,檢測産生響應而形成信号方式的稱爲反作用型(xíng)。雷達與無線電頻率範圍探測器是作用型實例,而光聲(shēng)效應分析裝置與激光分(fèn)析器是反作用型實例。
被動型傳感器隻是接收被測對象本(běn)身産生的信号(hào),如紅外輻射溫度計、紅(hóng)外(wài)攝像裝置等